le carbure de silicium en phase vapeur chimique equipement de depot

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Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de carbure de silicium

2018.12.13  La matrice de SiC des composites est réalisée par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le précurseur actuellement utilisé à l’échelle industrielle est le

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Les dépôts en phase vapeur

DEFINITION DU CVD. Le CVD est un procédé dans lequel les constituants chimiques réagissent en phase vapeur ou sur un substrat chauffé pour former un dépôt solide.

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2018.12.13  Le vinyltrichlorosilane (VTS, C2H3SiCl3), compose d’un groupement vinyle (deux carbones doublement lies), susceptible de stabiliser la liaison Si-C de la

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